전자전기공학과 박사과정 강보현, 박사과정 이상욱, 석사과정 유현서 학생 (지도교수: 백록현 교수)이 7th IEEE EDTM (Electron Devices Technology and Manufacturing) Conference에서 Best Student Paper Award를 각각 수상하였다. 본 대회는 반도체 제조기술 및 장비, 디바이스 성능 향상을 논의하는 국제학술대회로, 이번 학술 대회에는 총 25개국에서 800여명이 참석하였고 375편의 논문이 발표되었다.

▪ “Process, Tools, Yield, and manufacturing” 분과에서 수상한 강보현 학생은 메모리 소자로서 우수한 성능을 보여주는 MFMIS 게이트 스택을 제작하였고, MFMIS 구조를 위한 식각 공정 개발을 주제로 발표하였고, 그 우수성을 인정받아 “Best Student Award” 를 수상하였다.

▪ “Modeling and Simulation” 분과에서 수상한 이상욱 학생은 추가적인 공정 없이 나노시트 트랜지스터의 공정 오차에 따른 성능 열화를 효과적으로 억제하고, 소자의 성능을 크게 개선할 수 있는 공정법을 제시하였고, 그 우수성을 인정받아 “Best Student Award” 를 수상하였다.

▪ “Reliability” 분과에서 수상한 유현서 학생은 quantum computing application을 위해 극저온에서 동작하는 트랜지스터의 성능열화 및 단점을 극복하기 위한 body effect 솔루션을 개발하여 발표하였으며, 그 우수성을 인정받아 “Best Student Award” 를 수상하였다.