전자전기공학과 박사과정 윤주영 학생(공저자: 강도완, 지도교수: 정윤영)이 ‘삼성디스플레이 산학협력 논문대회’에서 대상을 수상했다.

수상 논문＂Improving Contact Resistance and Thermal Stability of Sub-µm a-IGZO Transistors for Next-Generation Displays＂에서는 차세대 고해상도 디스플레이 구현을 위한 핵심 기술인 산화물반도체/금속 인터페이스의 접촉 저항과 열적 안정성을 동시에 향상시키는 새로운 접근 방안을 제안하였다.

산화물 반도체는 다양한 장점으로 인해 디스플레이 산업에서 사용되고 있지만, 실리콘 소재에 비해 낮은 전자 이동도와 높은 접촉 저항으로 인해 화소 밀도가 높은 차세대 디스플레이에는 적용이 어려웠다.

본 연구에서는 산화물 반도체와 금속 사이에 확산을 막아주는 초박막 절연층을 삽입하여 계면에서의 금속 산화물 형성을 효과적으로 차단하는 방법을 제안했다. 이를 통해 접촉 저항을 개선하여 short channel 소자의 전기적 특성을 효과적으로 개선했고, 동시에 열에 의한 트랜지스터 성능 저하를 최소화하여 디스플레이 소자의 장기적인 안정성 및 고해상도 구현에 기여하는 중요한 기술적 진전을 이루어 높은 평가를 받았다.