김지원(박사과정),
한국반도체디스플레이기술학회 (KSDT 2018) “우수 논문상”수상

포스텍 전자전기공학과 박사과정 김지원씨(논문지도:이정수 교수)가 한국반도체디스플레이기술학회 및
연세대학교 BIT마이크로팹연구소가 주체하는 2018년 추계학술대회에서 “3D 수직 적층형 SONOS NAND Flash 메모리에서 타원형 채널의 메모리 특성 연구＂란 주제로 ‘우수논문상’을 수상하였다.

본 논문은 3차원 수직 적층형 NAND Flash 메모리 소자의 Cell 구조 변화에 따른 메모리 특성을 분석하였다. 3D 수직 적층형 소자 제작 과정에서 소자의 모양이 불규칙적으로 변하는 Cell distortion이 발생하며, 이를 소자 단면의 장축과 단축에 걸리는 전계의 변화에 의한 소자의 메모리 특성 열화를 분석하였다. 이를 통해 수직 적층형 SONOS Flash 메모리에서 실질적인 simulation과 modeling을 가능하도록 하여, 소자 미세화에 따른 메모리 특성 변화를 정확히 분석, 예측할 수 있다.

이번 2018년 추계학술대회는 “인공지능 시대의 반도체/디스플레이 기술”이라는 주제로 연세대학교 공학원(서울)에서 11월 22일 진행하였다.