전공선택 반도체 공정론

  • 과목코드
    EECE653
  • 강의 - 실습 - 학점
    3-0-3
  • 과목구분
    전공선택

반도체 제조의 일반공정인 결정성장, 확산(diffusion), 열처리(annealing), 사진건판 공정(lithography), 배선공정 (interconnection), 박막형성공정(thin film) 기술의 원리 및 제조장치의 최근 경향을 다룬다.