집적회로(Integrated Circuits) 제조 기술의 발전에 따라 그 중요성이 커지고 있는 플라즈마(Plasma)를 이용한 식각 (Etch) 및 도포(Deposition) 기술의 원리와 응용을 다룬다. 이에 필요한 기초 플라즈마 이론을 이해하며 최신 플라즈마 장 비도 소개된다.